薄膜镱应力传感器
doi: 10.11883/1001-1455(1991)01-0081-1
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摘要: 镱(Yb)应力传感器是一种新型金属压阻式传感器。在0～3.5GPa的低压范围内,与典型的锰铜、碳膜等应力传感器比较,镱传感器的压阻特性稳定,具有纳秒级的快速响应,压阻系数大,灵敏度高。薄膜镱应力传感器主要特点如下: 1.压阻特性稳定,测量重复性好。
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